Vous croyez-vous devant un tableau surréaliste, face à un œil qui juge ? Eh bien non, il s'agit plus prosaïquement de l'illustration d'une source élémentaire de plasma excitée à la résonance cyclotronique éléctronique (RCE) constituée d'un aimant permanent disposé à l'extrémité d'un applicateur micro-ondes. Le plasma produit à partir d'un assemblage de ces sources est appelé plasma multidipolaire. Il peut être utilisé dans les domaines de la microélectronique, optoélectronique, optique intégrée, notamment. Les plasma RCE classiques sont utilisées dans de nombreuses applications traditionnelles car ils permettent une importante vitesse de dépôt sur un substrat ou de gravure. De plus, un réacteur RCE produit un plasma " froid " ce qui facilite le traitement de matériaux comme les polymères. Les réacteurs multidipolaires présentent des avantages supplémentaires comme une grande uniformité de la densité du plasma et la possibilité d'opérer sur une large gamme de pression et de puissance en jouant sur la puissance par source élémentaire et sur leur nombre par unité de surface.

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© L. Médard/CNRS Photothèque

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